如何启动外部程序后等待其终止？

根据不同的文件启动相应的处理程序，比如doc文件启动word，xls文件启动excel
貌似很简单的问题，用Process.Start(filename)启动进程，并根据返回的Process执行WaitForExit()就可以了
问题是Process.Start返回的Process是有可能为null的，比如已经有一个word进程在运行的情况下Process.Start并不会创建新的进程，而是利用现有的word进程来处理，然后Process.Start就返回null
现在在返回null的情况下，如何知道目前处理该文件的是哪个进程？并等待该进程处理完毕？
目前想到的一个办法定时打开该文件，如果打开失败说明被其他进程占用，然后就等待，但这种方式也有问题，就是某些程序打开文件后并不会锁定文件，比如txt文件用notepad打开，打开之后这个txt文件仍然可以编辑甚至删除，这样就无法通过文件来判断这个txt文件是否已经编辑结束。