读取Word文档的问题

客户的一些数据保存在word文档中，用delphi打开并读取数据，然后关闭word文档后，系统的进程中总是留有word的进程。打开几次文档，就留了几个word进程，我该如何处理。代码如下：uses COMObjprocedure TPlatThickness.SaveDataToCharact(psFilePath:string);
var
    tmpoWord,tmpoDoc,tmpoRange:Variant;
    tmpiILoop : integer;
    tmpiDataCount : integer;
    tmpsTemp : string;
    tmpaData : Array[0..49] of double;
begin
    try
        //打开Word文件
        tmpoWord:=CreateOLEObject('Word.Application');
        tmpoWord.Visible:=false;
        tmpoDoc:=tmpoWord.Documents.Open(psFilePath);
        
       //中间的处理程序    //关闭Word文件
    finally
        tmpoDoc.Close;
        tmpoWord.Quit;        tmpoRange:=Unassigned;
        tmpoDoc:=Unassigned;
        tmpoWord:=Unassigned;
    end;